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모아레 방법을 이용한 박막의 기계적 성질 측정에 관한 연구 ( A Study on Measurement of Mechanical Properties of Thin Membrane Using Moire Method )
이용수
박막의 평면 밖 변위를 비접촉식으로 측정하기 위한 모아레 방법을 개발하는 것이다.
박막 재료의 기계적 성질을 비접촉식으로 정확하게 측정할 필요성이 있으며, 기존 방식들이 박막의 두께로 인한 한계를 가지고 있다.
거울면 박막을 대상으로 그림자식 모아레 방법을 적용하고, 블리스터 시험으로 박막의 기계적 성질을 측정했다.
박막의 탄성계수는 68.2 GPa, 잔류응력은 -48.84 MPa, 파단강도는 273 MPa로 측정되었으며, 제시된 방법은 거울면 박막에 적합함을 확인하였다.
본 연구에서는 거울면 그림자식 모아레 방법을 사용하여 미소기계구조에서 비접촉으로 박막의 변위를 측정하고, 블리스터 검사를 통해 박막의 탄성계수 68.2 GPa, 잔류응력 -48.84 MPa, 파단강도 273 MPa을 확인하였다.
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