수평공진형 미소 정전기액추에이터를 위한 미소보 현수시스템의 설계 ( Design of Micromechanical Flexure Suspensions for Laterally-Resonating Electrostatic Microactuators )

조영호

대한기계학회 논문집

1995 .12

수평구동형 정전 액추에이터를 이용한 극소형 공진가속도계의 설계, 제작 정적시험 및 오차분석 ( Design, Fabrication, Static Test and Uncertainty Analysis of a Resonant Microaccelerometer Using Laterally-driven Electrostatic Microactuator )

서영호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

수평구동형 정전반발력 마이크로액추에이터 ( Laterally-Driven Electrostatic Repulsive-Force Microactuator )

이기방 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

수평공진형 2축 각속도 센서의 설계 및 분석 ( Design and Analysis of Laterally-Resonating 2-Axes Angular Rate Gyrosensor )

고균희 ,  한승오 ,  김성원 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성분석

이종현 ,  이창승 ,  장원익 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1997 .12

전도성 고분자를 이용한 마이크로 액추에이터의 제작

李承起 ,  崔英 ,  安浩廷 외 3명

전기학회논문지 C

2000 .12

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

다결정 실리콘 MOSFET 제작과 전류-전압 특성 ( The Fabrication of Polysilicon MOSFET and The I-V characteristics )

안상훈 ,  김성영 ,  박종태 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

다결정 실리콘에 제작한 TFT의 전류-전압 특성 ( The Current-Voltage Characteristics of the Polysilicon TFT )

장정일 ,  홍성희 ,  박종태

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

Graphene-Based Microactuators

안종현

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

다결정 실리콘 자기정렬에 의한 바이폴라 트랜지스터의 제작 ( The Fabrication of Polysilicon Self-Aligned Bipolar Transistor )

채상훈 ,  구용서 ,  이진효

전자공학회논문지

1986 .11

초기변형 최소화를 위한 광변조 압전 다층박막 액추에이터의 설계, 제작 및 시험

金明震 ,  曺永昊

전기학회논문지 C

2000 .09

다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 이용한 초소형 기계식 스위치의 설계 및 제작

蔡敬洙 ,  한승오 ,  河鍾珉 외 2명

전기학회논문지 C

2000 .09

저온 열처리를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

정주용 ,  하승호 ,  이진민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

급속열처리 방식을 이용한 다결정 실리콘 소자의 향상된 전기적 특성 ( Improved Electrical Properties of Polysilicon TFT Using Rapid Thermal Processing )

홍찬희 ,  박창엽 ,  이희국

전자공학회논문지

1990 .12

자기변형 마이크로 작동기의 설계

김도연 ,  박영우 ,  임민철

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2004 .05

급속열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성연구 ( Effects of the Rapid Thermal Anneal on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

절연막 형성 방법에 따른 다결정실리콘 캐패시터의 특성 ( Characteristics of Polysilicon Capacitor as Insulator Formation Method )

노태문 ,  이대우 ,  김광수 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .07