전자기력 조합에 기초한 평면 구동기를 이용한 자기 부상 방식 초정밀 스테이지 ( Precision Stage Using A Novel Contact-Free Planar Actuator Based on Combination of Electromagnetic forces )

정광석; 백윤수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정광석 백윤수

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제25권 제11호

발행연도: 2001.11

수록면: 1,863 - 1,872 (10page)

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