테마기획 반도체 장비 : 반도체 장비 산업 현황 및 전망

이종회

기계저널

2000 .09

테마기획 반도체 장비 : 반도체 장비 기술교육

서화일 ,  김광선

기계저널

2000 .09

테마기획 반도체 장비 : 반도체 장비 핵심부품의 신뢰성 평가 장비

박화영

기계저널

2000 .09

유럽 반도체 장비 및 공정개발 현황

프리운호퍼

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

테마기획 반도체 장비 : CMP 가공기술 및 장치

이응숙

기계저널

2000 .09

반도체장비산업의 최근 동향

김치락

전자진흥

1990 .01

기획특집-반도체장비의 개발생산 및 육성방안

김치락

전자진흥

1991 .01

테마특집 - 반도체 산업

한국전자산업진흥회

전자진흥

2000 .01

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07

반도체 및 디스플레이장비 개발 전략

김동일

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

반도체 Burn-In 공정용 장비 개발

유동상

전기의세계

1997 .10

반도체 장비용 광학계 개발 현황과 전망

정해빈

광학세계

1999 .01

테마기획 진공 장비 : 진공기술과 반도체

임재영 ,  위영호

기계저널

2000 .10

반도체 기술의 현황과 앞으로의 과제

민병준

전자진흥

1983 .01

반도체 장비용 공정제어기의 구조 및 기능

유준 ,  김재형 ,  송태승 외 2명

제어로봇시스템학회지

1997 .03

반도체 생산 장비의 모델링과 공정제어

우광방

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

[반도체생산자동화 연구회] 반도체 생산장비의 신기술 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2003 .01

반도체 기술

유영욱

정보화사회

1989 .01

반도체 기술

이진효

전자공학회지

1987 .04

반도체 분야 현황

우대식

전자공학회잡지

1981 .12