n / p+ / p 3층구조를 이용한 FIPOS-SOI ( FIPOS-SOI Using n / p+ / p Structure )

강성원 ,  양천순 ,  이종현

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

FIPOS 기술을 이용한 SOI 구조의 실온제조 ( SOI Structures Formed at Room Temperature Using FIPOS Technique )

최광돈 ,  이종현 ,  손병기 외 1명

전자공학회논문지

1988 .11

열처리조건에 따른 SIMOX SOI의 특성 ( The Effects of Annealing Conditions on the Characteristics of SIMOX SOI )

배영호 ,  권영규 ,  김광일 외 3명

전자공학회논문지-A

1991 .08

열처리공정 개선에 의한 SIMOX SOI의 품질향상

배영호 ,  정욱진 ,  김광일 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

열처리 공정 개선에 의한 SIMOX SOI의 품질 향상 ( Improvement of SIMOX SOI Quality by Annealing Process Development )

배영호 ,  정욱진 ,  김광일 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

열처리 온도에 따른 SIMOX SOI 의 전기적 특성

배영호 ,  권영규 ,  김광일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

n / n+ / n 실리콘층을 이용한 FIPOS-SOI MOS 소자의 제조

양천순 ,  조찬섭 ,  이종현

대한전자공학회 워크샵

1990 .01

SIMOX SOI 제조시 산소이온 주입량의 감소가능성 ( The Possibility of Oxygen Dose Reduction in the SIMOX SOI Fabrication Process )

배영호 ,  이광철 ,  정욱진 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

SIMOX SOI를 이용한 압저항의 제조와 특성

강희성 ,  배영호 ,  김광일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

SIMOX SOI를 이용한 압저항의 제조와 특성 ( Fabrication and Characterization of the Piezoresistors Using SIMOX SOI Wafer )

강희성 ,  배영호 ,  김광일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

소량의 산소이온 주입으로 제조된 SIMOX SOI의 특성 ( The Characteristics of SIMOX SOI Formed by Lower Dose Oxygen Implantation )

배영호 ,  김광일 ,  정욱진 외 3명

전자공학회논문지-A

1992 .06

초고집적 회로를 위한 SIMOX SOI 기술

조남인

[ETRI] 전자통신동향분석

1990 .03

임계치 이하의 산소이온이 주입된 SIMOX SOI 의 특성 ( The Characteristics of SIMOX SOI Formed by Subcritical Dose Oxygen Implantation )

배영호 ,  권영규 ,  김광일 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

저 에너지 저도즈의 산소 이온주입에 의한 SIMOX SOI 구조의 제조

김영필 ,  최시경 ,  배영호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조

최광수

한국재료학회지

2005 .01

SIMOX 웨이퍼의 표면 결함 특성

유상동 ,  이재선 ,  박정민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Influence of Time-Dependent Gae Capacitance on CMOS / SOI Inverter Time Delay Built in SIMOX Substrate

M. Lee ,  K. Asada

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

열처리 온도에 따른 Simox Soi의 전기적 특성 ( The Annealing Temperature Dependence of The Electrical Characteristics of Simox Soi )

배영호 ,  권영규 ,  김광일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

SIMOX 기판을 이용한 MOSFET의 제조 및 특성 분석

유종선 ,  조남인 ,  강상원 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1990 .01

SOI 기술의 연구동향

이종현

전자공학회지

1987 .08