New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Quarter-Micron Lithography 개발 현황 및 향후 Advanced Lithography 기술 전개 방향

허훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

MLR ( Multilayer Resist ) 공정에 의한 Sub Half Micron Lithography

최민성 ,  김우식 ,  김홍석 외 4명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Wafer auto-Focus System for Sub-quarter Micron Lithography Tools

김도훈 ,  이각현 ,  정해빈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Fabrication of Sub-Half Micron PMOS Device

Yeo Hwan Kim ,  Sang Jik Jwon ,  KuK Jin Chun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

Sub 2-Micron CMOS 개발

최민성

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Low Temperature Etching of Resist for Sub-Half Micron Patterning

박찬동 ,  김준모 ,  김진웅 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Novel Model and Protection Technique for Charged Device Model in Half-Micron CMOS Process

Eun Kyoung Kwon ,  H. R. Pa ,  k 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Fabrication of inorganic long micron/sub-micron tubes using fibrous polymers as templates

김영백 ,  정은선

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

Sub-Half Micron Contact 식각에서 Post Etch Treatment 연구

박병준 ,  김진웅 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Image Reversal 공정을 이용한 Sub-Micron 게이트의 제작 ( The Fabrication of a Sub-Micron Gate Using IR Processes )

이일형 ,  김상명 ,  윤관기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

A Trend of Advanced Lithography Development

한오석 ,  이희국 ,  최민성

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Resolution Enhancement Through a Rule-Free Optical Proximity Correction in Optical Lithography

오용호 ,  이재철 ,  임성우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

W Etching for Sub-half Micron using the Helicon High Density Plasma

Seoung Wook Lee ,  Chang Ju Choi ,  Yeo Song Seol 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

전국진 ,  오혜근 ,  김성주

전자공학회지

1992 .05