DDMS를 이용한 MEMS 구조물의 새로운 점착방지 방법 ( A new Method of Stiction Reduction for MEMS Structures Using DDMS )

김봉환; 오창훈; 전국진; 오용수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김봉환 오창훈 전국진 오용수

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제37권 제6호

발행연도: 2000.6

수록면: 9 - 16 (8page)

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김봉환

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논문수 44 이용수 2,968

오창훈

소속기관 대한전자공학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 3 이용수 94

전국진

소속기관 서울대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 95 이용수 3,843

오용수

소속기관 세종대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 2 이용수 96

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-569-013330957

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