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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제40권 제8호
발행연도
2003.8
수록면
30 - 37 (8page)

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vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL) 웨이퍼에서 측정한 반사 스펙트럼을 전달 매트릭스 방법으로 계산한 반사스펙트럼과 비교함으로써비파괴적인 방법으로 구조적인 두께 오차가 발생한 층을 찾아내고 오차의 크기를 추정하는 방법론을 제시하였다. DBR 층의 오차를 종합하여 나타낸 n-DBR 층의 두께 오차, 즉 유효 오차를 도입하면, 반사 스펙트럼의 모양은 유효 오차에만 의존한다는 사실에 이 방법의 근거를 두고 있다. 활성층 영역의 두께 오차는 Fabry-Perot 발진파장에만 영향을 주며, 랜덤 두께 오차의 표준편차 값이 0.005 이하일 때에측정과 계산된 반사 스페트럼의 비교는 신뢰성을 갖는다. 이 방법론은 VCSEL 웨이퍼 제작시 측정되는 반사 스펙트럼을 이용하므로 비파괴적이며, 0.5 nm의 두께 오차를 찾아 낼 수 있을 정도로 정밀도가 높다.

목차

반사 스펙트럼을 이용한 VCSEL 에피층의 두께 오차 평가

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 두께 오차가 반사 스펙트럼에 미치는 영향 : 계산 결과

Ⅲ. 반사 스펙트럼측정 결과 및 두께 오차의 평가

Ⅳ. 결론

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