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이용수
ABSTRACT
1.서론
2.PZT 액튜에이터 및 제어기
3.실험 결과 및 고찰
4.결론
참고문헌
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Micro Valve with Functional Actuator
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
PZT의 변위특성을 이용한 정밀스테이지의 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2007 .11
PZT Actuator Scan을 위한 제어시스템개발
한국지능시스템학회 학술발표 논문집
2012 .04
PZT actuator를 이용한 외팔보의 능동진동제어
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2008 .11
PZT 액튜에이터를 이용한 유연한 보의 강제 진동제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .05
PZT 액추에이터를 이용한 위치결정용 정밀스테이지의 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2007 .06
PZT를 이용한 광 정보저장기기용 액추에이터의 트랙 추적제어
한국소음진동공학회논문집
2004 .05
PZT-5A 탐촉자의 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
메탈 프린팅용 압전액추에이터의 특성개선
동력시스템공학회지
2005 .11
PZT를 이용한 초정밀 회전 구동기에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .05
압전 액추에이터용 압력 레귤레이터
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .06
PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성
전기학회논문지 C
2000 .02
동정을 이용한 압전액추에이터의 추종제어
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .05
적층형 압전 마이크로밸브의 압력 레귤레이팅 기술
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2004 .12
중공형 PZT 신호특성 및 분석에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
PZT Actuator를 이용한 진동절삭 시스템의 Tool Holder 및 Amplifier 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2006 .01
초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )
전자공학회논문지-A
1995 .12
PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .11
PZT 액추에이터를 이용한 ㎜범위의 위치결정용 정밀스테이지의 개발
한국기계가공학회지
2008 .03
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