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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제26권 제12호
발행연도
2002.12
수록면
2,687 - 2,694 (8page)

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A precision displacement measuring systcm is proposed, which can detect the 3 -DOF translational motions of precision positioning devices. The optical system. which is composed of two diode-laser sources and two quadratic PSDs, is adapted to detect the position of the spherical reflector usually mounted on the platform of positioning devices. Each of the laser beams from diodc-Iaser sourccs is reflectcd at the highly reflcctivc surface of thc sphcre; hcncc. thc 3-dimcnsional position of thc sphere causes the directional change of the rcflectcd bcams, which is detcctcd by the PSDs. In this paper. wc define the relationships between the output valucs of thc two PSDs and thc 3-DOF translational motions of thc spherc. Bascd on a deduccd measurcmcnt model, wc pcrform mcasurcmcnt simulation and cvaluatc the pcrfonnancc of thc proposed measurement system: linearity, sensitivity. measuring range, and measurement error. The results show that the proposed measuring mcthod is vcry useful for thc mcasurcment of

목차

Abstract

1.서론

2.측정 원리

3.측정 시스템의 성능 분석 및 평가

4.결론

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-014032453