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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2002년 춘계학술대회논문집
발행연도
2002.5
수록면
799 - 804 (6page)

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Magnetic Levitation System (MLS) is widely applied for many kinds of automation process such as semiconductor industry. For the design of MLS which has control capability of high resolution and bandwidth, it is necessary to analyze of dynamic characteristics and control performance considering all the magnetic non-linearities such as magnetic saturation of core, magnetic flux linkage, and magnetic flux leakage. Therefore, in order to predict the control performance of MLS, the integrated analysis of electromagnetic-motion-control involving all the magnetic non-linearities is performed using FEM

목차

Abstract

1. 서론

2. 자기장 해석

3. 동적 해석 및 제어

4. 결론

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