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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.4
- 수록면
- 945 - 949 (5page)
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LIGA(Lithographie Galvanoformung Abformung), a fabrication method for the production of
microstructrues with a high aspect ratio, is now playing an important role in a fabrication of polymeric optical
waveguide device as the replication processes have been developed such as hot embossing and injection
molding. The present report deals with the fabrication of Ni master used for the replication of multi-mode
polymeric optical waveguide. With the basic technological features in the sequence of the LIGA technique,
we fabricated Ni master with 12 channel microstructures of 100 × 100 2 × 60, and achieved an accuracy
of 1 . Manufactured polymeric optical wavegude with the same using hot embossing process has also
the same accuracy and approved its mass production capability.
microstructrues with a high aspect ratio, is now playing an important role in a fabrication of polymeric optical
waveguide device as the replication processes have been developed such as hot embossing and injection
molding. The present report deals with the fabrication of Ni master used for the replication of multi-mode
polymeric optical waveguide. With the basic technological features in the sequence of the LIGA technique,
we fabricated Ni master with 12 channel microstructures of 100 × 100 2 × 60, and achieved an accuracy
of 1 . Manufactured polymeric optical wavegude with the same using hot embossing process has also
the same accuracy and approved its mass production capability.
목차
Abstract
1. 서론
2. 광소자용 핫 엠보싱 공정에서의 마스터 요구 조건
3. LIGA 공정에 의한 Ni 마스터 제작 공정 및 평가 방법
4. 결과 및 논의
5. 결론
후기
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