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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.11
- 수록면
- 1,401 - 1,406 (5page)
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Mechanical behavior of a piezoelectric actuator is studied as a preceding research for the manufacturing of three -
dimensional micro-structures. It is needed to examine the simulation of a piezoelectric actuator according to applied
direction of voltage, by researching displacement characterization of piezoelectric material through piezoelectric theory.
To this end, finite element modeling is employed to study the response of a piezoelectric material under the various
input voltages. Where the actuator is simulated by use of ANSYS. To avoid direct contact piezoelectric material with
working fluid, silicon, polymer, etc., the actuator is modeled with nickel fixed diaphragm.
dimensional micro-structures. It is needed to examine the simulation of a piezoelectric actuator according to applied
direction of voltage, by researching displacement characterization of piezoelectric material through piezoelectric theory.
To this end, finite element modeling is employed to study the response of a piezoelectric material under the various
input voltages. Where the actuator is simulated by use of ANSYS. To avoid direct contact piezoelectric material with
working fluid, silicon, polymer, etc., the actuator is modeled with nickel fixed diaphragm.
목차
Abstract
1. 서 론
2. 이론적인 연구
3. 압전 작동기의 모델링 및 경계조건
4. 유한요소 해석
5. 해석 결과 및 고찰
6. 결 론
후기
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