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저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년 추계학술대회논문집
발행연도
2003.11
수록면
1,608 - 1,613 (6page)

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In the semiconductor and the optical industry, a new transport system which can replace the conventional
sliding system is required. These systems are driven by the magnetic field and the conveyer belt. The
magnetic field damages semiconductor and contact force scratches the optical lens. The ultrasonic wave
driven system can solve these problems. In this paper, the object transport system using the excitation of
ultrasonic wave is proposed. The experiments for finding the optimal excitation frequency, finding phasedifference
between two ultrasonic wave generators are performed. The relationship of transporting speed
according to the change of flexural beam shape is verified. In addition, the system performance for practical
use is evaluated.

목차

Abstract

1. 서론

2. 실험장치 및 실험방법

3. 실험 및 고찰

4. 결론

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