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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제29권 제1호
발행연도
2005.1
수록면
67 - 73 (7page)

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The paper presents a single-heater microfluid injector, whose ejected droplet volume is adjusted by digital current path control for a single microheater. The previous droplet volume adjustable methods have used the digital current control for multiple heaters or the analog current control for a single heater, while the present method used the digital current control for a single microheater. Two different microinjectors, having a rectangular heater and a circular hearter, are designed and fabricated in the chip area of 7.64 mm x 5.26 mm. The fabricated microinjectors have been tested and characterized for the number, size, shape and lifetime of the generated bubbles as well as for the volume and velocity of the ejected droplets. The input power for the rectangular heater and the circular heater has been varied in the ranges of 8.7~24.9μW and 8.1~43.8μW, respectivily. The projected area of the generated bubble has been changed in the ranges of 440~1,360㎛² and 800~3,300㎛² for the rectangular heater and the circular heater, respectively. The microinjector with the rectangular heater ejects three discrete levels of the droplet in the volume range of 9.4~20.7pl with the velocity range of 0.8~1.7m/s, while the microinjector with the circular heater achieves five discrete levels of the droplet in the volume range of 7.4~27.4pl with the velocity range of 0.5~2.8m/s.

목차

Abstract

1. 서론

2. 작동 원리 및 성능 예측

3. 제조 공정

4. 실험 결과 및 토의

5. 결론

후기

참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
Rembe, C., aus der Wiesche, S. and Hofer, E.P., 1999, "Dynamics in a Thermal Ink Jet: A Model for Identificiation and Simulation," Proc. Modeling and Simulation of Microsystems Workshop, Puerto Rico, U.S.A., pp. 550~553. google schola Lee, J.-D., Lee, C.-S., Chun, K.-C. and Han, C.-H., 1999, "Two-dimensional Nozzle Arrangement in a Monolithic Inkjet Printhead for High-resolution and Hihg-speed Printing," IEDM Techmical Digest, pp. 127~130. google schola Chen, P.-H., Chen, W.-C. and Chang, S.-H., 1997, "Bubble Growth and Ink Ejection Process of a Thermal Ink Jet Printhead," International Journal of Mechanical Sciences, Vol.39, No.6, pp.683~695. google schola Kang, T.G. and Cho, Y.-H., 2003, "Droplet Volume Adjustable Microinjector using the Microheater Arra," Proc. 16th IEEE Inter. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2003), Kyoto, Japan, pp. 690~693. google schola Pond, S. F., 2000, Inkjet Technology and Product Development Strategies, Torrey Pines Research, pp.371~375. google schola

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