A Study of defect generation in III-V semiconductor materials (InP, GaAs) in nano-sized patterns on si substrate

Ju-Hee LEE ,  Young-Dae CHO ,  In-Geun LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

NO 와 NH₃ rapid thermal nitridation 공정에 따른 SiON 막질 분석

이우정 ,  이정한 ,  이연승 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Synthesis and Characterization of ThMn₁₂-type by nitridation reaction

Kang-Hyuk Lee ,  Sang-Im Yoo

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2019 .11

수직형 반응기를 이용한 InP / GaAs, InGaAs / GaAs 기판퓨젼

황성민 ,  최창학 ,  김용 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Intial oxynitridation and nitridation of silicon surfaces by NO and NH₃decomposition

염한웅 ,  김정원 ,  김유권

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Effect of nitridation of sapphire in NH₃ ambient on GaN grown by MOCVD

송근만 ,  김동준 ,  문용태 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Structure control of Fe Particles for the Efficient Nitridation

김수경 ,  이정구 ,  권세훈 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .11

Initial adsorption process of NH₃ on the Si(111)7×7 surface

In Kyoung Cho ,  Yu Kwon Kim ,  Han Woong Yeom

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Study on the Growth of Co Films on InP(001)(2×4) Reconstructed Surface

Yong-Sung Pa ,  k ,  Jong-Ryul Jeong 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2004 .06

Adsorption and thermal reaction of NH₃ on the Si(100) surface

김정원 ,  염한웅

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

The formation of OH and NH₂terminated Si(001) surface using chlorinated Si(001) 2x1 surface

백재윤 ,  이선숙 ,  오진호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Growth and Nitridation of Fe thin films on (0001) Al₂O₃ substrates

Hyeonjun Kong ,  Eunyoung Ahn ,  Yuon-Kyoung Baek 외 6명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .11

Plasma nitridation of atomic layer deposition-Al2O3 by NH3 in PECVD

Ham cho ,  om Cha ,  Young Joon Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Regular distribution of S or Se in (NH₄)₂Sx - or Na₂Se / NH₄OH - treated GaAs surfaces

Seung-Hoon Sa ,  Ji-Wan Kim ,  Min-Gu Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Si / Co / GaAs계의 계면반응, 상평형 및 전기적 특성에 관한 연구

곽준섭 ,  백홍구 ,  신동원 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

GaAs/AlGaAs DBR을 이용한 GaAs on Si의 표면 거칠기 개선 연구

류근환 ,  양현덕 ,  김호성 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

The Effect of Thin Intermediate Layers on Optical and Structural Characterization of GaAs/Al_0.3Ga_0.7As Multi-Quantum-Wells on GaAs-on-Si (100) Substrates

Y. S. Yun ,  H. D. Yang ,  G. H. Ryu 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

NH₃ - Plasma Treatment of GaAs Surface at High Temperature in RF Parallel Plate Plasma Reactor

KyoungWan Pa ,  k ,  Seong-Jae Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02