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CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면변형의 회복에 관한 연구 (Ⅱ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Remote Plasma를 이용한 실리콘 산화막에 대한 건식세정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면의 잔류층 및 손상층에 관한 연구 (Ⅰ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Penning 방전을 이용한 실리콘 CVD
Applied Science and Convergence Technology
1996 .03
실리콘 나노선의 표면전하 거동연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
SF6와 NF3를 이용한 SiNx의 건식식각특성과 관련된 변수에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
바이오 센서 응용을 위한 Tree-like 실리콘 나노와이어의 표면성장 및 특성파악
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
질소 플라즈마를 이용한 실리콘 질화막의 제작 및 실리콘 질화막과 실리콘구조의 계면분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
태양전지 적용을 위한 실리콘 표면 passivation 방법과 그 특성 분석에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
실리콘(001) 표면에 NH₃, H₂O 분자의 흡착 동역학
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
건식회화를 이용한 식품의 전처리법 연구
한국분석과학회 학술대회
2018 .11
실리콘 옥사이드와 실리콘 나이트라이드 다층 박막에서의 실리콘 나노 클러스터와 어븀의 상호작용 거리에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
건식 진공펌프의 소음특성에 대한 실험적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
헬리콘 고밀도 플라즈마로부터 라디칼 빔의 추출 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
실리콘 표면 구조의 형상에 따른 반사도와 흡수율 최적화 및 표면적 증가에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
등방성 및 비등방성 건식 식각에 의한 다결정 실리콘 전계 에미터 어레이 형성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
표면 거칠기에 따른 전하 이동도 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
건식 쌀가루를 이용한 막편의 품질특성
동아시아식생활학회 학술발표대회논문집
2016 .05
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