Expanding Thermal Plasma CVD of Silicon Thin Films and Nano-Crystals : Fundamental Studies and Applications

Richa ,  d van de Sanden

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Effect of Filament Temperature, Processing Pressure and CH₄ gas on Silicon-Carbide Films at Low Temperatures by Cat-CVD

황재담 ,  이경민 ,  김태환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Low - temperature silicon epitaxy by UHV - CVD

이홍로 ,  임승현 ,  박진원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Direct Deposition of Polycrystalline Silicon Films on Plastic Substrates by Catalytic CVD for Thin Film Transistors

Chul-Lae Cho ,  Tae-Hwan Kim ,  Kyung-Min Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Direct Deposition of Polycrystalline Silicon Films on Plastic Substrates using the Catalytic CVD Technique

Hong ,  Wan-Shick ,  Kim 외 3명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Field emission property of CNT films manufactured by thermal CVD method on different types of substrate

이준석 ,  조이갑 ,  강동한 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Neutral Beam assisted Chemical Vapor Deposition at Low Temperature for n-type Doped nano-crystalline silicon Thin Film

장진녕 ,  이동혁 ,  소현욱 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

Growth and structure of GaP nanowire using thermal CVD

류승철 ,  서승환 ,  이철진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Direct Deposition of microcrystalline Si Films at Low Temperatures (＜200 ℃) by Catalytic CVD

Tae-Hwan Kim ,  Kyung-Min Lee ,  Sunghwan Won 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술

홍완식

진공이야기

2014 .09

Development of Nano Crystal Embedded Polymorphous Silicon Thin Film by Neutral Beam Assisted CVD Process at Room Temperature

Jin Nyoung Jang ,  Dong Hyeok Lee ,  Hyun Wook So 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Study on the superhydrophilicity of TiO2 films on glasses by thermal CVD

Jin-Woo Choi ,  Sang-Jin Cho ,  Sang-Hun Nam 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Thermal CVD를 이용한 탄소 나노튜브의 합성

신정현 ,  이세종 ,  조성진

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Growth and NO₂ sensing properties of CS₂SnI₆ thin film synthesized by non-solution method

Phung Dinh Hoat ,  Hyojun Lim ,  Pham Tien Hung 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

THE EFFECTS OF ION DOPING ON AMORPHOUS SILICON DEPOSITED BY AP - CVD.

SOON SUNG YOO ,  KYANG NAM KIM ,  BYUNG YEUN MUN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착

조정민 ,  조영옥 ,  윤원주 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Highly Doped Nano-crystal Embedded Polymorphous Silicon Thin Film Deposited by Using Neutral Beam Assisted CVD at Room Temperature

장진녕 ,  이동혁 ,  소현욱 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

ZnS thermal CVD"s solution of phenomenon of roughing exhaust line blockage for increasing continous process time

조용범 ,  김진철 ,  최우성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Thermal CVD 방법에 의한 SiC 동종박막 성장에 관한 연구

장성주 ,  설운학 ,  정준익 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07