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김재훈; 김동준; 민항기; 이승민; 김재성

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저자정보: 김재훈 김동준 민항기 이승민 김재성

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제5회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1993.7

수록면: 106 - 107 (2page)

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