Ion Beam Energy effect of the Carbon Nitride Thin Film formation by Direct Dual Ion Beam Deposition

김용환 ,  최동준 ,  한동원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Characterization of Fe Ion Implanted Boron Nitride

장홍규 ,  김현경 ,  문대원 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Growth of Ta₂O5 Thin Film by Dual Ion Beam Assisted Deposition and in - situ Surface Analysis

조용범 ,  김경중 ,  구경완 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

헬륨 이온의 Sputtering에 의해 형성된 Cubic Boron Nitride 박막의 압축응력의 변화

이은옥 ,  박종극 ,  임대순 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

ITO deposition by Ion beam sputtering

한영건 ,  조준식 ,  최성창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Preparation of Boron Carbide Thin Films by Reactive sputtering of Boron

K. E. Lee ,  J. Y. Lee ,  M. J. Pa 외 5명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .12

Synthesis of hexagonal boron nitride using high-pressure chemical vapor deposition

Joonwon Lee ,  Jaehyun Han ,  Jong-souk Yeo

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Nano-patterns formed of Au(001) by dual ion beam sputtering

조민웅 ,  김재성

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Controlled Synthesis of Hexagonal Boron Nitride on Cu Foil Using Chemical Vapor Deposition

Jaehyun Han ,  Jun-Young Lee ,  Heemin Kwon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Synthesis of Hexagonal Boron Nitride along a Domain of Cu Foil

June Pa ,  k ,  Eun Kyung Seo 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Characterization of In₂O₃ Films by AES and XPS

정재인 ,  문종호 ,  홍재화 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

A Novel Large Area Negative Sputter Ion Beam Source and Its Application

Steven Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

Synthesis and Characterization of Tin Nitride Thin Films Deposited by Low Nitrogen Gas Ratio

박주연 ,  강용철

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Deposition of carbon nitride thin films by using radical source

노기민 ,  최시경 ,  유신재 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

In-situ diagnosis using FT-IR and the characterization of Hf nitride films

강상우 ,  윤주영 ,  성대진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Bias effect on the chemical structure and hardness during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering

노기민 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06