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Si 기판위에 ICB법에 의해 적층 성장된 yttrium oxide 박막의 결정성에 대한 Oxygen Resonance BS / Channeling 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
ICB (Ionized Cluster Beam) 방법으로 제작된 Glass 기판위의 구리 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
실리콘 기판 위에 UHV - ICB 증착법으로 적층 성장된 Y₂O₃박막의 BS / channeling 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
Development and Experimental investigation of new type ICB
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
ICB 증착 장비 개발 및 이 장비를 이용한 Cu 박막 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
Plastic 기판위에서 seed layer를 이용한 μc - Si 박막 저온성장 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Si기판 위에 증착 된 Co 박막 계면의 자기적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2012 .05
Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 성장된 Si(100)과 Si(111) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유기금속화학증착법에 의한 Si기판상의 ZnO박막의 성장 및 구조적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
태양전지 응용을 위한 Mo 기판위에 고온 결정화된 poly - Si 박막 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
Si₃N₄ 기판 위에 PECVD법으로 형성한 tungsten nitride 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
적층 성장된 Co/Cu/Si(001) 나노구조의 제작 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
Tin Oxide Thin Film Deposition for Gas Sensor by Reactive Ionized Cluster Beam(R - ICB)
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
CeO₂(111) / Si(111)위에 성장된 실리콘 박막 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Si(100)기판 위에 증착된 CeO₂(200)박막과 CeO₂(111)박막의 전기적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Si 기판처리에 따른 CdTe 박막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
이온 클러스터빔에의한 구리박막제작
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
Si기판 위에 성장된 (Ba0.5, Sr0.5)TiO₃의 구조 및 C-V특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
YSZ를 완충층으로 적층성장된 절연막(CeO₂ / YSZ / Si)위에 증착한 Si박막의 결정성 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
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