Properties of Si thin films by hyperthermal neutral beam

Kyoung Suk Oh ,  Sung Woong Choi ,  Daechul Kim 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Effect of Doping Si in DLC Thin Films Growth on Their Mechanical Properties

김대영 ,  박민석 ,  진인태

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Electron emission characteristics of DLC films

Young Kyu Hong ,  Ju-Jin Kim ,  Chan Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Heavy Ion - Surface Scattering at Hyperthermal Energies (3 - 100 eV). Cs+ Collisions on Si(111)

양민철 ,  김철훈 ,  강헌

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Hyperthermal Cs+ - Surface Reactive Scattering for Real - time Measurement of Molecular Adsorption. Reaction of CO, H₂O, and C6H6 with Ni(100)

강헌 ,  김관도 ,  김기여 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Microwave Electric Field and Magnetic Field Simulations of an ECR Plasma Source for Hyperthermal Neutral Beam Generation

이희재 ,  김성봉 ,  유석재 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

DLC 증착 효율 향상을 위한 DBD표면처리 특성 및 증착된 DLC 특성 분석

양종근 ,  고민국 ,  Rai Su 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Ti-DLC 증착 방법에 따른 특성 비교

이나래 ,  박현준 ,  문경일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Low Temperature Silicon Oxynitridation Grown by Hyperthermal Neutral Beam

J. S. Kim ,  D. C. Kim ,  J. H. He 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

A study on the influence of environment conditions on tribological properties of DLC and thin films

Pongsa ,  an GRAIDUM ,  Shuichi WATANABE 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Si 이온의 첨가가 DLC 박막의 기계적 특성에 미치는 영향

김대영 ,  박민석 ,  김왕렬 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

DLC 박막의 기계적 특성 평가

한준희 ,  이광렬 ,  김광석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

세계의 포장 - DLC보틀의 기술동향과 도입사례

교도탁야

포장계

2012 .01

Field emission from hydrogen - free DLC

Suk Jae Chung ,  Eun Jung Han ,  Sung Hoon Lim 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1999 .04

Silicon oxy-nitridation using the hyperthermal neutral beam (HNB)

김종식 ,  김대철 ,  손혁준 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Titanium 첨가 방법에 따른 DLC 특성 비교

이나래 ,  박현준 ,  문경일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

고경도 저마찰 무수소 DLC 코팅을 위한 자장여과 아크 플라즈마의 특성 및 응용연구

김종국 ,  강용진 ,  김동식 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

플라즈마 폴리머의 물리적, 전기적 특성에서 다이아몬드상 탄소 패시베시션이 미치는 영향

박용섭 ,  조상진 ,  부진효

Applied Science and Convergence Technology

2012 .07