CF₄ 플라즈마 처리 DLC 필름의 표면 특성

조성진; 이광렬; 은광용

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조성진 이광렬 은광용

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.2

수록면: 96 - 96 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018030395

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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