Negative Metal Sputter (DC sputtering)를 이용하여 증착된 MgO 박막의 특성

이원정; 안경준; 여환욱; 안병철; 우형철; 김성인

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저자정보: 이원정 안경준 여환욱 안병철 우형철 김성인

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제18회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.2

수록면: 109 - 109 (1page)

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