6H - SiC 단결정 성장중에 기판 표면 상태가 결함 형성에 미치는 효과

엄명윤; 정재경; 나훈주; 송인복; 김형준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 엄명윤 정재경 나훈주 송인복 김형준

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제23회 학술발표회초록집

발행연도: 2002.6

수록면: 181 - 181 (1page)

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나훈주

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논문수 3 이용수 88

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소속기관 한국진공학회

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김형준

소속기관 한국진공학회

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