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한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 태양에너지 제20권 제2호
발행연도
2000.6
수록면
55 - 65 (11page)

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이온빔 스퍼터링을 이용하여 indium tin oxide(ITO)박막을 증착하였다. Ar가스만을 이용하여 플라즈마를 형성한 경우 O₂를 첨가한 경우에 대해 기판온도를 상온에서 200℃까지 증가시키면서 온도의 영향을 관찰하였으며 이온빔 에너지의 변화가 박막의 특성에 미치는 영향을 관찰하였다. Ar 이온만으로 증착한 ITO 박막은 domain 구조를 보였으며 Ar+O₂이온으로 증착한 경우 grain 구조를 나타내었다. Ar 이온만으로 증착된 ITO박막의 전기 비저항의 최소값은 100℃ 기판온도에서 1.5*10^-4Ωcm 값을 보였으며 산소 첨가의 경우에는 150℃dptj 4.3*10^-4Ωcm 이었다. 보든 박막이 100℃이상의 기판 온도에서 가시광영역에서의 투과도는 80%이상의 값을 보였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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