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ESPI에서 물체를 비추는 입사광의 각도 및 거리에 따른 sensitivity vector를 구하고, 입사광이 평행광일 때와 발산광일 때 두광원의 파면차이에 의한 변위의 민감도 차이를 비교하였다. In-plane 및 out-of-plane 변위에 민감한 ESPI 광학계 구성에 대해서 각각 분석하였다. 이 결과로부터 ESPI에서 입사광을 광학계의 구성이 용이한 발산광으로 하고, 변위량의 계산에서는 물체 전면에서 sensitivity vector가 일정하다고 근사하는 것이 큰 오차가 없이 유용함을 알 수 있었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 기하학적 구조에 따른 고찰
Ⅲ. 계산 결과
Ⅳ. 논의
참고문헌
Abstract
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UCI(KEPA) : G300-j12256285.v5n3p379