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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2000.6
- 수록면
- 1 - 6 (6page)
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본 논문은 다결정 박막 실리콘 태양전지에서 이종 기판 위에 seed layer인 다결정 실리콘 박막을 제작하는 연구에 관한 것이다. 유리 기판 위에 Al과 a-Si 박막을 e-beam evaporator를 이용하여 증착하여 결정화 실험을 수행했다. 각 박막의 두께, 열처리 온도와 시간이 결정화 정도에 미치는 영향에 대해 고찰했다.
Glass/Al(5000Å)/a-Si(5000Å) 시편을 500℃, 60분 동안 열처리했을 때 비정질 실리콘이 결정화됨을 관찰했다. 열처리온도가 높을수록 결정립 크기의 증가를 관찰했다. 또한 Al과 a-Si박막의 두께 변화도 역시 결정화에 영향을 주었다. 결정화된 실리콘 박막은 porous하지만 3000Å에서 1㎛ 이상의 결정립을 갖고 있다. 이는 용액성장법(Liquid-phase epitaxy, LPE)으로 태양전지에서 활성층(active layer)인 다결정 Si 박막을 성장시킬 때 보다 균일한 박막을 얻고 연속적인 계면을 형성시켜주는 seed layer로서 사용할 수 있다고 사료된다.
Glass/Al(5000Å)/a-Si(5000Å) 시편을 500℃, 60분 동안 열처리했을 때 비정질 실리콘이 결정화됨을 관찰했다. 열처리온도가 높을수록 결정립 크기의 증가를 관찰했다. 또한 Al과 a-Si박막의 두께 변화도 역시 결정화에 영향을 주었다. 결정화된 실리콘 박막은 porous하지만 3000Å에서 1㎛ 이상의 결정립을 갖고 있다. 이는 용액성장법(Liquid-phase epitaxy, LPE)으로 태양전지에서 활성층(active layer)인 다결정 Si 박막을 성장시킬 때 보다 균일한 박막을 얻고 연속적인 계면을 형성시켜주는 seed layer로서 사용할 수 있다고 사료된다.
목차
Abstract
요약
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 토의
4. 결론
5. Acknowledgement
참고문헌
참고문헌 (0)
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