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한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 학술대회논문집 한국태양에너지학회 2000 춘계학술발표대회 논문집
발행연도
2000.6
수록면
7 - 14 (8page)

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대면적 고효율 태양전지를 제조하기 위해서 중요한 산화공정, 인 확산공정을 최적화 하여 45 ㎠ 면적의 PESC태양전지에 적용하여 FZ 기판에서 18.66% 의 변환효율을 얻었다. 산화 공정에서 중요한 파라미터는 가스의 총유량과 배기속도이며 인 확산에서 중요한 파라미터는 가스의 총 유량으로 유량이 높을수록 균일한 도핑을 할 수 있었다. 저가격 고효율 화를 위해서 산화공정을 건식과 습식을 혼용하는 방법을 사용하여 FZ 기판에서 2㎳ 이상의 긴 life time을 얻을 수 있었다. 가격이 저렴한 CZ 웨이퍼를 이용하여 제작한 태양전지에서는 17.37%를 얻을 수 있었다.

목차

Abstract

요약

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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