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스퍼터링에 의해 형성된 비정질 Co_(87)Zr₄Nb_9 박막을 TEM과 EDS로 분석하여 박막의 구조적 그리고 조성적 불균일성을 관찰하였다. 특히 기판 bias를 가한 상태에서 제조된 박막을 회전자장 열처리했을 때는 Co-rich 지역과 (ZrNb) oxied-rich 지역의 조대한 조직으로 분리되었으며, 이러한 박막의 특성은 ‘ultra-soft’한 성질을 나타내었다. Ultra-soft한 박막은 Hc=0.18 Oe, Hk=0.55 Oe, Mr/Ms=0.75의 자기적 특성과 overdamping된 고주파특성, 그리고 외부자계에 대한 자화율 변화곡선이 가역적이고 연속적이라는 특이한 현상을 보인다.
조성적으로 불균일한 박막의 ultra-soft한 특성은 Co-rich 입자들이 exchange coupling energy와 magnetostatic coupling energy를 최소화 하기위해 만드는 vortex 형의 자화분포로써 설명되었다. 즉 vortex는 여러개의 Co-rich 입자들로 형성 되어있는 것으로 추정되며, 수평, 수직방향으로의 반자장 계수(demagnetizing factor)가 각각 flux closure 와 flux reversal에 의해 무시되기 때문에 vortex로부터 CoZrNb 박막의 ultra-soft 특성을 설명할 수 있었다.
조성적으로 불균일한 박막의 ultra-soft한 특성은 Co-rich 입자들이 exchange coupling energy와 magnetostatic coupling energy를 최소화 하기위해 만드는 vortex 형의 자화분포로써 설명되었다. 즉 vortex는 여러개의 Co-rich 입자들로 형성 되어있는 것으로 추정되며, 수평, 수직방향으로의 반자장 계수(demagnetizing factor)가 각각 flux closure 와 flux reversal에 의해 무시되기 때문에 vortex로부터 CoZrNb 박막의 ultra-soft 특성을 설명할 수 있었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
Abstract
참고문헌 (0)
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