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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제10권 제5호
발행연도
2000.10
수록면
250 - 255 (6page)

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본 연구에서는 double rectangular spiral형 공심 인덕터를 유사 LIGA 공정으로, Fe_(86.7)Zr_(3.3)B₄Ag_6 자성막을 dc magnetron sputtering법으로 각각 제조한 후 인덕터의 구조를 변화시켜, 인덕터의 임피던스 특성에 미치는 자성막의 특성 인자에 대해 연구하였다. 공심 인덕터의 전류 방향과 자성 박막의 자화 용이축이 수직일 경우 인덕터의 인덕턴스가 향상되었고, 공심 인덕터와 Fe_(86.7)Zr_(3.3)B₄Ag_6 자성막 사이 절연막이 없는 경우 자성막의 자속 집속효과가 증가하여 절연막이 있는 경우보다 인덕턴스는 높고, 저항의 증가율이 높았으며, Fe_(86.7)Zr_(3.3)B₄Ag_6 자성막의 투자율이 높을수록 인덕터의 인덕턴스에 기여하는 부분이 증가하므로 인덕턴스는 향상되었다. 또한 인덕터의 주파수 특성은 공심 인덕터의 특성에 지배적인 영향을 받으므로 인덕터의 주파수 특성을 향상시키기 위해서는 자성막의 특성보다 공심 인덕터의 특성을 향상시키는 것이 바람직하다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험 방법

Ⅲ. 결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

감사의 글

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Abstract

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