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논문 기본 정보

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저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제4권 제4호
발행연도
2005.12
수록면
34 - 38 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2006

비냉각 적외선 이미지 센서의 바이메탈 MicroCantilever 변형
강정호 ,  박영철 ,  이영훈 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료
적외선 이미지 센서의 바이메탈 MicroCantilever 변형에 관한 연구
강정호 ,  박영철 ,  이영훈 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.10 학술대회자료
적외선 이미지 센서의 Micro Cantilever변형
강정호 ,  박영철 ,  이영훈 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.10 학술대회자료

2005

바이메탈형 적외선 이미지 센서 제작과 칸틸레버 변위에 관한 고찰
강정호 한국기계가공학회지 2005.12 학술저널

초록· 키워드

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This is a widespread requirement for low cost lightweight thermal imaging sensors for both military and civilian applications. Today, a large number of uncooled infrared detector developments are under progress due to the availability of silicon technology that enables realization of low cost IR sensor. System prices are continuing to drop, and swelling production volume will soon drive process substantially lower. The feasibility of micromechanical optical and infrared (IR) detection using microcantilevers is demonstrated. Microcantilevers provide a simple Structurefor developing single- and multi-element sensors for visible and infrared radiation that are smaller, more sensitive and lower in cost than quantum or thermal detectors. Microcantilevers coated with a heat absorbing layer undergo bending due to the differential stress originating from the bimetallic effect. This paper reports a micromachined silicon uncooled thermal imager intended for applications in automated process control. This paper presents the design, fabrication, and the behavior of cantilever for thermomechanical sensing.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 미세 가공기술을 이용한 제작

3. 결론

참고문헌

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