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대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 1985年度 Clean Room Technology 특별강좌
발행연도
1985.7
수록면
1 - 59 (59page)

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목차

1. Clean Room의 역사

2. Clean Room의 종류

3. Clean Room의 기준

4. CR의 방식과 계획법

5. Clean Room의 구조

6. CR의 배치계획

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