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대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 1993年度 하계학술대회 강연 및 논문집
발행연도
1993.6
수록면
136 - 141 (6page)

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According to the development of semiconductor industry. the demand of super clean room is increasing, hut the study of clean room for energy saving is rare.
The energy comsuption of ventilation system in clean room presents that it covers over 50% of total quantity of energy consumption. so the decreasing energy consumption of ventilation system is one of the most effective methods for energy saving in clean room.
The purpose of this study is to search the performance problems of air velocity and pressure distribution in clean room, and the relation between pressure loss and blowing power on the side of energy saving when each of fillers which have different pressure loss is adopted.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 클린룸 실험장치의 개요

3. 측정개요

4. 결과분석 및 고찰

5. 결론

참고문헌

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