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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 클린룸 실험장치의 개요
3. 측정개요
4. 결과분석 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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CLEAN ROOM계획에 관한 연구 ( A Study on the planning of the Clean Room )
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CLEAN ROOM의 설계
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클린 터널형 클린룸 설계를 위한 유동특성의 실험적 연구
설비공학논문집
1989 .02
CLEAN ROOM 관리
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
1979 .09
Clean Water Together
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2004 .01
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2005 .01
Clean Room제어용 Computer에 대하여
냉동공조기술
1986 .01
SUPER CLEAN ROOM
공기청정기술
1988 .01
클린룸 청정도 유지를 위한 최적 차압도출
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2007 .10
[해설] CLEAN ROOM
설비저널
1979 .03
Computer 와 Clean Signal
대한전자공학회 기술강좌
1989 .01
반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지 소비량에 관한 실험
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .04
The Concept of Clean Technology
청정기술
1995 .12
고온냉수 시스템을 이용한 반도체 클린룸의 연간 전력 소비량 산출
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
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