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저널정보
한국조명·전기설비학회 조명·전기설비 조명·전기설비학회지 제8권 제4호
발행연도
1994.8
수록면
17 - 21 (5page)

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레이저 광원을 사용하여 정현적으로 극미세 진동하는 압전소자에 부착된 거울을 대상으로 마이켈슨 간섭계로 부터의 간섭신호를 감지해 변위의 크기와 주파수를 측정할 수 있는 진동측정 방법과 장치를 제시한다. 약 80[nm]~1.2[㎛] 범위의 진폭을 가진 물체의 변위와 주파수를 매우 높은 정밀도로 측정하고, 빔의 파장보다 큰 진동물의 간섭신호를 컴퓨터로 처리하여 진동형태의 개형을 구했다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 이론
3. 신호처리
4. 실험 및 결과
5. 결론
참고문헌
◇ 著者紹介 ◇

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