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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1997.4
- 수록면
- 56 - 63 (8page)
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진공에서의 파괴는 파괴전구현상으로부터 개시되고, 파괴전구현상중에서 가장 중요한 과정은 Metalli field Electron Emission과 Micor discharge이다.
진공내에서 평등전계 갭의 전기적 파괴특성 중 전극에 흐르는 방전전구전류는 전계에 의존하고 Fowler Nordheim 식으로 나타낼 수 있다.
이 논문은 압력 760, 1.2×10<SUP>-3</SUP>, 1.2×10<SUP>-5</SUP>[torr]과 스테인레스 전극을 미소갭 20, 50, 75, 100[㎛]으로 구성하여 방전전구전류에 대해서 실험적으로 연구했다.
전극갭과 압력변화에 따라 얻어진 I-V 특성곡선을 Fowler Nordheim의 전계방출 이론에 입각하여 분석한 결과, 진공중 미소갭의 전기적 파괴기구는 Metallic field Electron Emission (M-FEE)에만 의존되었다.
진공내에서 평등전계 갭의 전기적 파괴특성 중 전극에 흐르는 방전전구전류는 전계에 의존하고 Fowler Nordheim 식으로 나타낼 수 있다.
이 논문은 압력 760, 1.2×10<SUP>-3</SUP>, 1.2×10<SUP>-5</SUP>[torr]과 스테인레스 전극을 미소갭 20, 50, 75, 100[㎛]으로 구성하여 방전전구전류에 대해서 실험적으로 연구했다.
전극갭과 압력변화에 따라 얻어진 I-V 특성곡선을 Fowler Nordheim의 전계방출 이론에 입각하여 분석한 결과, 진공중 미소갭의 전기적 파괴기구는 Metallic field Electron Emission (M-FEE)에만 의존되었다.
목차
요약
Abstract
1.서론
2. 실험 장치 및 실험 방법
3. 실험 결과 및 검토
4. 결론
참고문헌
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