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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국트라이볼로지학회 KTS International Journal KSTLE International Journal Vol.7 No.1
발행연도
2006.6
수록면
22 - 26 (5page)

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A simple finite element analysis is performed to simulate the thermal characteristics of a micro sensor package with thin film heater embedded in the glass wall of a micro-channel. In this paper, Electric characteristics of ITO sputtered heater were presented in this study, which can be used as a map of heater design in the range of available system temperature. The effects of thermo-physical properties of materials, geometrical structure and boundary condition on the thermal performance are also investigated. Finally, the design of micro-flow induced thermal sensor that is capable of measuring fluid flow with a lower flow detection limit of approximately 24pL/s is presented.
#microchannel #microheating #ITO #sputtered heater #PDMS

목차

Abstract
1. Introduction
2. Model of System and Heating Elements
3. Numerical Process
4. Results and Discussion
5. Conclusion
Acknowledgments
References

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