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축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
인가 주파수 크기에 따른 부유 탐침의 전류 변화를 이용한 플라즈마 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
부유탐침을 이용한 플라즈마 측정법에서의 인가 주파수 영향의 보정 및 쉬스 임피던스 측정 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Wave-cutoff 탐침을 이용한 플라즈마 진단 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
이중주파수 부유형 탐침법을 이용한 플라즈마 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
임베디드 2차원 평면 탐침을 이용한 플라즈마 균일도 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
플라즈마 공간분포 측정을 위한 디지털카메라를 이용한 토모그래피 진단법 개발 및 부유탐침 진단 결과와의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
엔탈피 프로브 진단기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
변형 부유 고조화법을 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
컷오프 탐침과 량뮤어 탐침을 이용한 Ar/CF4 유도결합 플라즈마 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
마이크로웨이브 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
전위 측정에 미치는 탐침의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
펄스플라즈마에서 부유고조화를 이용하여 고시간분해능으로 플라즈마 진단방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
평판형 탐침을 이용한 공정 챔버 벽 증착 막 두께 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
토모그래피 기법을 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
연구 및 산업분야에서의 주사탐침현미경의 가능성
한국분석과학회 학술대회
2019 .11
시변환 쉬스 거동에 대한 탐침 전류 곡선의 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
LIF와 컷오프탐침을 이용한 CF2 라디칼 밀도와 플라즈마 변수의 진단 및 상관관계 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
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