ICP Poly etcher의 RF power와 HBr gas의 변화에 따른 output parameters의 변화

남상훈; 현재성; 배인섭; 부진효

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 남상훈 현재성 배인섭 부진효

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제31회 학술논문발표회 초록집

발행연도: 2006.8

수록면: 127 - 127 (1page)

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