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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
107 - 110 (4page)

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2004

유기 자기조립 단분자막의 레이저 포토 패터닝을 이용한 박막 미세 형상 가공 기술
최무진 ,  장원석 ,  김재구 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004.12 학술저널
클로로메틸 폴리이미드(CMPI) 박막과 근접장 나노 프로브 레이저 패터닝을 이용한 미세 형상 가공 기술
최무진 ,  장원석 ,  김재구 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료
유기 자기조립 단분자막과 나노프로브 레이저 패터닝을 이용한 금속박막 미세 형상 가공 기술
최무진 ,  장원석 ,  김재구 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

2003

레이저 포토패터닝을 이용한 이종 자기조립 단분자막 형성 기술
최무진 ,  장원석 ,  김재구 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2003.10 학술대회자료

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Photo-induced surface alignment is charming as a non-contact photo-patternable alignment technology which can be used in the next generation of displays, such as large area, multi-domain. For decades, many polymer film have been investigated and developed to be used in the photo alignment. Among these photoreactive materials, recently developed polyimide, Chloromethylated Polyimide(CMPI) now became the focus of interests in this area because of its high photosensitivity and superior thermal stability. In this report, we present micro patterning method to form the nanoscale structure by Mask-Less laser patterning using this CMPI film and NSOM probe.
#폴리이미드(polyimide) #레이저 패터닝(laser patterning) #폴리머박막(thin polymer film) #레이저 직접가공(laser direct patterning) #자기현상(self-developing) #나노프로브 #근접장현미경(NSOM)

목차

ABSTRACT
1. 서론-폴리이미드 미세패턴형성기술
2. CMPI
3. Experimental Setup
4. Experimental Results
5. 결론
후기
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