레이저 다이오드를 이용한 정현적 위상변조 간섭계에 대한 연구

표기영; 박낙규; 이근영; 강영준; 김경석

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저자정보: 표기영 박낙규 이근영 강영준 김경석

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2005.10

수록면: 932 - 935 (4page)

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Recently, laser interferometer is widely used as a measuring system in many fields because of its high resolution and its ability to measure a board area in real-time all at once. In conventional laser interferometer, for examples Out of plane ESPI, In plane ESPI, Shearography and Holography, it uses PZT or other components as a phase shift instrumentation to extract 3-D deformation data, vibration mode and others. However, in most cases PZT has some disadvantages, which include nonlinear errors and limited time of use. In present study, a new type of laser interferometer using a laser diode(LD) is proposed. Using Laser Diode Sinusoidal Phase Modulating(LD-SPM) interferometer, the phase modulation can be directly modulated by controlling the LD injection current thereby eliminating the need for PZT components.

#Laser diode(레이저 다이오드) #Sinusoidal phase modulation(정현적 위상변조) #Wavelength modulation(파장변조) #Phase shift method(위상이동법) #Vibration Mode shape(진동모드)

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