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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
149 - 150 (2page)

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We describe a novel method of scanning probe nanofabrication using a AFM(atomic force microscopy) tip with assistance of Femtosecond laser pulses to enhance fabrication capability. Illumination of the AFM tip with ultra-short light pulses induces a strong electric field between the tip and the metal surface, which allows removing metal atoms from the surface by means of field evaporation. Quantum simulation reveals that the field evaporation is triggered even in air when the induced electric field reaches the lev ... 전체 초록 보기
#Nanofabrication(나노가공) #Femtosecond Pulse Laser(펨토초 펄스 레이저) #Field Evaporation #Atomic Force Microscopy(원자간력 현미경) #Local Field Enhancement

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 구성 및 실험 원리
3. 결과 분석
4. 결론
후기
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