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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.5
- 수록면
- 1,295 - 1,300 (6page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (16)
2009
2007
2006
2005
2004
원판형 드래그펌프 회전자와 고정자 사이의 간극이 성능에 미치는 영향
권명근
,
황영규
대한기계학회 논문집 B권
2004.12
학술저널
고속 회전하는 원판형 드래그펌프 회전익과 고정익 사이 간극이 배기 성능에 미치는 영향
권명근
,
이수용
,
황영규
대한기계학회 춘추학술대회
2004.11
학술대회자료
원판형 드래그펌프 회전자의 채널이 성능에 미치는 영향에 관한 실험적 연구
권명근
,
이수용
,
황영규
대한기계학회 춘추학술대회
2004.04
학술대회자료
원판형 드래그펌프 회전자의 채널이 성능에 미치는 영향에 관한 실험적 연구
권명근
,
이수용
,
황영규
한국진공학회 학술발표회초록집
2004.02
학술대회자료
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Turbo-type molecular drag pumps (MDPs) are used in the liquid crystal display (LCD), semiconductor and other thin film industries. Siegbahn (disk-type) molecular drag pumps are used as high-pressure stages in the hybrid-type turbomolecular pumps, where they can operate in the viscous, the transition and the free molecular flow regime. In this study is performed to investigate the pumping characteristics of three-stage disk-type molecular drag pump (DTDP) in the molecular transition flow region. The experiments are measured using five vacuum pressure gauges in the positions for rotors of DTDP. The test is performed with nitrogen gas (N₂).
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
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