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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제19권 제3호
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13 - 18 (6page)

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목차

  1. 1. 서론
  2. 2. AFM의 작동 원리
  3. 3. 미세 변이 측정
  4. 4. 실리콘 공정에 의한 AFM 탐침 제작
  5. 5. 미세 힘의 측정
  6. 6. 결론
  7. 참고문헌

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