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이용수
2002
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험배경
3. 실험 방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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실리콘 웨이퍼 연삭가공 특성 평가에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
1999 .05
실리콘 웨이퍼 연삭 가공의 기구학적 모델링과 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
반도체 실리콘 재료의 정밀연삭가공조건에 따른 손상거동
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
반도체 Wafer Back Grinding 공정에서 배출되는 Silicon Recycling 기술 개발
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2007 .11
실리콘 웨이퍼의 고정밀 연삭에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
반도체 실리콘재료의 정밀연삭을 위한 공정변수와 연삭후 표면에 형성된 wheel pattern과의 관계
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .02
Si 웨이퍼의 연삭과 표면특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
실리콘 웨이퍼의 연삭 결함 분포 평가
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2003 .05
실리콘 웨이퍼 연삭의 평탄도 특성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .11
실리콘 웨이퍼 연삭의 형상 시뮬레이션
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2004 .10
웨이퍼 연삭가공에서 형상정밀도 향상을 위한 이론적 모델링에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
웨이퍼 연삭 가공 기술의 동향 및 가공 정밀도 향상에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
반도체용 실리콘 웨이퍼의 초정밀 입자 가공
기계저널
2010 .06
반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )
대한기계학회 춘추학술대회
1994 .01
실리콘 웨이퍼의 반경 방향에 따른 연삭 특성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .04
실리콘 웨이퍼 연삭 가공 공정 모니터링 시스템
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .06
연삭가공시 연삭조건에 따른 잔류응력 분포에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1991 .01
초정밀 연삭 방법에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .06
연삭시스템의 최적연삭가공조건
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
박막화 과정을 거친 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 물성에 크기 및 방향이 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .04
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