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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.6
수록면
7 - 10 (4page)

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It is quite difficult to accurately measure the mechanical properties of thin film. In this research, we have studied with the emphasis on developing mechanical measurement systems to directly measure strains micro/nano-scale thin films using visual image tracing (VIT). For this purpose, we developed micro tensile testing VIT system. It consists of a piezo actuator, load cell, microscope and CCD cameras. The advantage using this method is to monitor the real time image of deformed specimen and to measure Young’s modulus and Poisson’s ratio at the same time. In this paper, Stress-strain curve, Young’s modulus and Poisson’s ratio of copper thin film can be measured using VIT.
#Mechanical property(기계적 물성) #thin film(박막) #Young's modulus(탄성 계수) #Poisson's ratio(프아송 비) #real time(실시간)

목차

Abstract
1. 서론
2. VIT 시스템의 개발
3. 실험 및 결과
4. 결론
후기
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