Monomer based thermally curable resin을 이용한 소프트-리소그래피

양기연; 홍성훈; 이헌

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 양기연 홍성훈 이헌

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문요약집

발행연도: 2005.6

수록면: 330 - 330 (1page)

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#Nano-replication #PDMS #nano-molding #Soft-Lithography #Nano imprint Lithography

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

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이헌

소속기관 고려대학교

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