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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.9
발행연도
2007.9
수록면
103 - 109 (7page)

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LCD(Liquid Crystal Display) is widely used electronic product. It needs too many processes such as PECVD(Plasma Enhanced Vapor Deposition), Sputtering, Photo-lithography, Dry etch. Each process is important but inspection process is more important because most companies emphasis on the six sigma. Recently, LCD inspection system is composed with inlet, inspector, outlet air pads. LCD is inspected on air pad which is shooting air from air hole. This paper studies on pad design of air. bearing for LCD inspection to minimize LCD fluctuation. This design is able to reduce fluctuation and then satisfies CCD inspectional range. Also inspection pad needs to adequate stable area.
#LCD(액정표시장치) #Air-bearing(에어베어링) #Air Pad(에어패드) #Glass fluctuation(유리요동) #Air guide(에어가이드)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 에어패드 성능 평가 시스템
3. FEM을 통한 에어패드 해석
4. 에어패드 성능 실험
5. 결론
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