Capping층 재료에 따른 CoFeB/MgO/CoFeB 자기터널접합의 미세구조와 자기저항 특성

정하창; 이성래

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정하창 이성래

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제17권 제4호

발행연도: 2007.8

수록면: 162 - 165 (4page)

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본 연구에서는 CoFeB/MgO/CoFeB 구조를 가지는 자기터널접합에서 capping층 재료의 종류와 열처리 시간에 따른 비정질 top CoFeB 자성층의 결정화 상태 및 자기터널접합의 자기적 특성 변화에 대한 연구결과를 비교 분석 하였다. Hcp(Hexagonal closepacked)의 결정구조를 가지는 Ru(002)를 capping층 재료로 사용한 자기터널접합 박막의 경우에는 열처리 이후 Ru과 인접한 부분의 top CoFeB이 bcc-CoFe(110)으로 성장하는 반면, TiAl과 ZrAl을 capping층 재료로 사용한 자기터널접합의 경우는 열처리 이후 top CoFeB이 MgO와 epitaxial 하게 bcc-CoFe(002)로 결정성장 하였다. 이로 인해 Ru을 사용한 자기터널접합의 터널자기 저항비(46.7 %)보다 약 1.5배 높은 터널자기저항비(TiAl: 71.8 %, ZrAl: 72.7 %)를 나타내었다.

#자기터널접합 #터널링자기저항 #capping #MgO #CoFeB #magnetic tunneling junction #tunneling magnetoresistance

참고문헌 (3)

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1. [학술지(정기간행물)] - / 2004 / Phys. Rev. B 1724407

2. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / J. Appl. Phys. 91 (8581)

3. [학술지(정기간행물)] - Y. S. Choi / 2007 / Djayaprawira, J. Appl. Phys

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