SiN<SUB>x</SUB> 박막 내 산포된 ZnO 나노입자의 전기적 특성에 관한 연구

오도현; 조운조; 김태환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 오도현 조운조 김태환

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 289 - 289 (1page)

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